激光与电火花加工兼用的精密微孔加工机床日本桥川制作所在冈山大学工学部等单位协作下，研制了激光加工与电火花加工兼用的精密微孔加工系统。它是将两种加工机构组合在一台机床上，不仅有效用于微细深孔的加工，还有望用于实现以往难加工的无绳电话的小型模具。该系统是由特殊的电火花加工装置、YAG激光加工实验装置、表面粗糙度测量装置、高速摄像机系统以及数字显微镜构成。首先利用YAG激光在加工对象上加工出预孔并清除滞留在预孔内的切屑，然后，对预孔进行精密加工。利用内孔粗糙度测量仪测量预孔或微孔的加工精度。
YAG激光加工能实现高速加工，但其加工精度有些问题。电火花加工的精度虽好，但加工速度较慢。上述精密微孔加工系统，不仅互补了两者的缺点，还发挥出了各自的优点。
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